§ 18. ЖАРТЫЛАЙ ӨТКІЗГІШ МАТЕРИАЛДАРДЫ ПРЕЦИЗИОНДЫ ӨҢДЕУ ЖӨНІНДЕГІ ТЕГІСТЕУШІ-ЖЫЛТЫРАТУШЫ
2-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Пластиналарды станоктарда немесе қолмен абразивтік ұнтақтармен немесе тегістеу шеңберлерімен ірі тегістеу. Пластиналарды тегістеу үстелдерінде желімдегіш заттардың көмегімен немесе вакуумды үстелде бекіту және оларды кейіннен шая отырып алу. Тегістеу үшін микроұнтақтардан абразивті суспензия дайындау.
Білуге тиіс: қызмет көрсетілетін жабдықты қолдану принципі; ысқылап тегістеу дискін дайындау әдісі; желімдейтін мастика дайындау және оны шаюдың әдістері; қолданылатын абразивтік материалдардың маркалары; микроұнтақтарды шаюдың технологиясы.
Жұмыс үлгілері: Ферриттерден жасалған пластиналар - станокта немесе қолмен ірі тегістеу.
§ 19. ЖАРТЫЛАЙ ӨТКІЗГІШ МАТЕРИАЛДАРДЫ ПРЕЦИЗИОНДЫ ӨҢДЕУ ЖӨНІНДЕГІ ТЕГІСТЕУШІ-ЖЫЛТЫРАТУШЫ
3-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Пластиналарды, бұйымдарды станокта немесе қолмен кедір-бұдырлықтың және қалыңдығының берілген параметрлеріне дейін абразивтік ұнтақтар немесе тегістеуші шеңберлермен тегістеу. Тегістелетін пластиналардың қалыңдығын өлшеу. Тегістеу үшін микроұнтақтардан абразивтік суспензия дайындау. Жұмыс процесінде жабдықтың жарамдылығын қадағалау. Берілген өлшемге станокты теңшеу, өңдеу режимін таңдау. Ақаулардың пайда болуының алдын алу. Тегістеу шеңберін орнату және ауыстыру. Станок тегістегішінің жазықтығын жеткізу.
Білуге тиіс: тегістеуге арналған станоктар мен айлабұйымдардың құрылғысы, жұмыс істеу принципі, пайдалану ережесі және баптау әдістері; тегістеудің берілген өлшеміне жабдықты баптау әдістері, механикалық және қолмен тегістеу әдістері мен тәсілдері; ысқылап тегістейтін дискіні дайындау әдістері; жапсыратын мастикаларды әзірлеу және оларды кетірудің әдістері; қолданылатын абразивтік материалдардың маркалары мен олардың негізгі қасиеттері; өлшеу аспаптарын (микрометрлер, индикаторлы қақпақтар және т.б.) пайдалану ережелері; тегістеу шеңберлерін таңбаларын; тегістеу шеңберін түзету әдістері; өлшеу әдістемесі; тегістелгеннен кейін бетінің тазалығына талаптар; германий, кремний, галлий арсенидінің механикалық қасиеттері.
Жұмыс үлгілері
1 Титанокерамикалық лампалар - тор ернеулерін станокта абразивті ұнтақтармен ысқылау.
2. Пластиналар - ± 15 мкм дәлдікте тегістеу.
§ 20. ЖАРТЫЛАЙ ӨТКІЗГІШ МАТЕРИАЛДАРДЫ ПРЕЦИЗИОНДЫ ӨҢДЕУ ЖӨНІНДЕГІ ТЕГІСТЕУШІ-ЖЫЛТЫРАТУШЫ
4-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Пластиналарды жұқа абразивті ұнтақтармен қолмен тегістеу. Пластиналарды тегістеу станоктарында алмас шеңберлермен, жұқа микроұнтақтармен тегістеу. Пластиналарды ± 10 мкм дәлдікпен жылтырату станоктарында жылтырату. Абразивті микроұнтақтар және минералды майлардан тегістегіш және жылтыратқыш суспензияларды дайындау. Дәлме-дәл тегістеу және жылтыратуға арналған станоктар мен жарақтарды дайындау. Тегістегіштің жазықтығын және параллельдігін тексеру. Өңдеу режимдерін бақылау және реттеу. Алмас аспапты түзету. Тегістегіштің тігінен соғуын өлшеу. Өңдеу сапасын айқындау. Ақауды табу және алдын алу.
Білуге тиіс: қолданылатын жабдық құрылғысы, жұмыс істеу принципі және пайдалану ережесі; сызбалардағы шектерді белгілеу; алмас микроұнтақтардың негізгі қасиеттері; жартылай өткізгіштің қасиеттері, ысқылап тегістегіш дискі бетінің сапасын айқындау; өңделетін пластиналардың кедір-бұдырлығына қойылатын талаптар; өңделетін пластиналардың геометриялық формасына қойылатын талаптар; тегістеу және жылтыратудан кейін пластиналардың геометриялық формалары мен кедір-бұдырлығын өлшеу әдістері; ақаулардың түрлері мен себептері.
Жұмыс үлгілері
1. Пластиналар - М40, М28 абразивті микроұнтақтармен тегістеу; М5 микроұнтақтармен жылтырату.
2. Кремний пластиналары - қалыңдығының ауытқуы ± 5 мкм алмас тегістеу шеңберлерімен тазалап тегістеу.
§ 21. ЖАРТЫЛАЙ ӨТКІЗГІШ МАТЕРИАЛДАРДЫ ПРЕЦИЗИОНДЫ ӨҢДЕУ ЖӨНІНДЕГІ ТЕГІСТЕУШІ-ЖЫЛТЫРАТУШЫ
5-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Пластиналарды пасталармен, алмас шеңберлермен, микроұнтақтармен ± 5 мкм дәлдікте тегістеу (жылтырату). Пластиналардың тәжірибелік үлгілерін тегістеу (жылтырату). Алмас пасталар және микрұнтақтармен жылтырату, жұмсақ тегістегіште (замша) пластиналарды кремний тотығымен, абразивті емес құраммен және цирконий тотығымен химиялық-механикалық жылтырату. Жылтыратқыш материалды дайындау, оправканы жеткізу және оның тегістігін үлгілік сызғышпен тексеру. Пластиналарды органикалық еріткіштермен (бензинмен) майсыздандыру.Өңделген бетінің сапасын айқындау. Түрлі ұнтақтардан, алмас пасталардан, минералды майлардан, органикалық қышқылдардан, бензиннен суспензиялар дайындау. Өңдеудің оңтайлы таңдау. Екі станокқа бір уақытта қызмет көрсету.
Білуге тиіс: жабдықтың жұмыс режимі; жабдықтың түрлі үлгілерінің дәлдігін тексеру әдістері; химиялық-механикалық жылтыратуға арналған химиялық компоненттердің дұрыс мөлшерлемесі; жартылай өткізгішті материалдардың негізгі физикалық-механикалық қасиеттері; жоғары нүктелік бақылау-өлшеу аспаптарын пайдалану ережесі; бетінің кедір-бұдырлығы бойынша берілген параметрлерге жеткізу үшін микроұнтақтарды таңдау әдістері; пластиналарды отырғызу ережесі.
Жұмыс үлгілері
1. Пластиналар (германий, кремний, галлий арсениді); галлий-гадолинийлі гранат пластиналары - субмикронды алмас ұнтақтармен жылтырату.
2. Пластиналар - алмасты тегістеу станоктарда байланысты алмастарды тегістеу (САШ-420; СПШ-1; МШ-259).
§ 22. ЖАРТЫЛАЙ ӨТКІЗГІШ МАТЕРИАЛДАРДЫ ПРЕЦИЗИОНДЫ ӨҢДЕУ ЖӨНІНДЕГІ ТЕГІСТЕУШІ-ЖЫЛТЫРАТУШЫ
6-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Түрлі үлгідегі станоктарда пластиналарды және ерекше дәл бөлшектерді жұқалап тегістеу (жылтырату). Синтетикалық жылтырататын материалдарды пайдалана отырып жылтырату, оптикалық шайырда жылтырату. Оптикалық байланысты пайдалана отырып жылтырату. Тегістеу (жылтырату) режимдерін өңдеу. Екі жақты тегістеу станоктарында сепараторларды жеткізу. Қызмет көрсетілетін жабдықтағы ақаулықтардың себептерін анықтау және жою.
Білуге тиіс: жабдықтың түрлі үлгілерінің құрылымы, дәлдігін тексеру әдістері мен ережесі; күрделі бөлшектерді орнату, бекіту және тексеру әдістері, өңдеудің кезектілігін айқындау әдістері; оптикалық шайырларда пластиналарды жылтырату үшін жарақтарын және жабдықтарын; шайырды жұмысқа дайындау әдістері; оптикалық байланысты пайдалана отырып, жылтырату үшін қорғағыш лакты даярлау әдістері; тегістелген және жылтыратылған пластиналарда бұзылған қабаттардың пайда болуы табиғатын; жұқа өңдеу кезіндегі ақаулардың түрлері және оларды табу және жоюдың әдістері.
Осы бөлімде көзделген жұмысшы кәсіптерінің, 2002 жылғы БТБА қолданыстағы бөлімі бойынша атаулары көрсетілген тізбесі
№
р
с
|
Осы бөлімде орналастырылған кәсіптердің атауы
|
Разраяд
тар
диа
пазоны
|
БТБА қолданыстағы шығарылымы бойынша кәсіптердің атауы
|
Разрядтар диапазон
|
шығарылым №
|
бөлімнің қысқартылған атауы
|
1
|
2
|
3
|
4
|
5
|
6
|
7
|
1.
|
Жартылай өткізгіш материалдарды қалпына келтіру аппаратшысы
|
3-5
|
Жартылай өткізгіш материалдарды қалпына келтіру аппаратшысы
|
3-5
|
20
|
Жартылай өткізгішті өндіріс
|
2.
|
Монокристалдар мен таспаларды ұзарту жөніндегі аппаратшы
|
3-6
|
Монокристалдар мен таспаларды ұзарту жөніндегі аппаратшы
|
3-6
|
-//-
|
-//-
|
3.
|
Рекуператорлар мен салқындату жүйесіне қызмет көрсету жөніндегі аппаратшы
|
4-5
|
Рекуператорлар мен салқындату жүйесіне қызмет көрсету жөніндегі аппаратшы
|
4-5
|
-//-
|
-//-
|
4.
|
Жартылай өткізгішті өндіріске арналған жоғары тазалықтағы материалдарды алу жөніндегі аппаратшы
|
3-5
|
Жартылай өткізгішті өндіріске арналған жоғары тазалықтағы материалдарды алу жөніндегі аппаратшы
|
3-5
|
-//-
|
-//-
|
5.
|
Жартылай өткізгішті материалдардың өндірісі және химиялық тазарту жөніндегі аппаратшы
|
3-6
|
Жартылай өткізгішті материалдардың өндірісі және химиялық тазарту жөніндегі аппаратшы
|
3-6
|
-//-
|
-//-
|
6.
|
Жартылай өткізгішті материалдарды химиялық өңдеу жөніндегі аппаратшы
|
2-4
|
Жартылай өткізгішті материалдарды химиялық өңдеу жөніндегі аппаратшы
|
2-4
|
-//-
|
-//-
|
7.
|
Прецизионды қорытпалардың балқытушы-құюшысы
|
2-6
|
Прецизионды қорытпалардың балқытушы-құюшысы
|
2-6
|
-//-
|
-//-
|
8.
|
Циклондық құрылғының балқытушысы
|
4-6
|
Циклондық құрылғының балқытушысы
|
4-6
|
-//-
|
-//-
|
9.
|
Жартылай өткізгішті материалдардың шикіқұрамын әзірлеуші
|
2-5
|
Жартылай өткізгішті материалдардың шикіқұрамын әзірлеуші
|
2-5
|
-//-
|
-//-
|
10.
|
Жартылай өткізгішті материалдарды прецизионды өңдеу жөніндегі тегістеуші-жылтыратушы
|
2-6
|
Жартылай өткізгішті материалдарды прецизионды өңдеу жөніндегі тегістеуші-жылтыратушы
|
2-6
|
-//-
|
-//-
|
2. ЖАРТЫЛАЙ ӨТКІЗГІШ АСПАПТАР, ИНТЕГРАЛДЫ ЖӘНЕ ҚАТТЫ ТӘСІМДЕР ӨНДІРІСІ
§ 1. ЖАРТЫЛАЙ ӨТКІЗГІШ АСПАПТАРДЫ ҚАЙНАТУШЫ
2-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Қайнату құрылғысында шыны бөлшектерді қайнату. Жөнделген қайнататын станокта (жартылай автоматта) шынысы бар металл бөлшектерді қайнату. Шыны баллондармен жартылай автомат шпиндельдерін тиеу. Қайнату процесінде температураны реттеу. Микроскоппен кристалдар орталығына байланыс пружинасын орнату және арматура қайнату. Осциллограф бойынша кристалды инені теңшеу. Сыртқы түріне қарай дәнекердің сапасын айқындау.
Білуге тиіс: қайнату құрылғыларын және қайнату станоктарын (жартылай автоматтардың) қолдану принципі, қайнатудың қолданылатын әдістері – шыны мен шыныны, шыны мен металды (ковар, платинит) дәнекерлеу және күйдіру; қайнатқанда дайындамаларды бекітуге арналған айлабұйымдардың қызметі мен пайдалану шарттары; кристаллды инені теңшеудің әдістері мен ережесі, электронды осциллографтың қызметі және оның жұмысы туралы негізгі ұғымдар; өңделетін материалдардың негізгі қасиеттері.
§ 2. ЖАРТЫЛАЙ ӨТКІЗГІШ АСПАПТАРДЫ ҚАЙНАТУШЫ
3-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Әйнекті металл бөлшектерді қайнату станоктарында (жартылай автоматта) оны процесс барысында жөндей отырып қайнату; Түрлі диаметрдегі баллондарды қайнатуға қажетті оттың тиісті өткірлігі мен температурасын орната отырып, газ горелкаларының жалынын реттеу. Металл мен шыныны, шыны мен шыныны таза (кеуексіз және конуссыз) және бірдей (қаспақсыз) дәнекерлеу.
Білуге тиіс: қайнату станоктарының (жартылай автоматтардың) құрылғысы және баптау әдістері; өңделетін материалдардың негізгі физикалық және химиялық қасиеттері, қайнатудағы оттың режимі; қолданылатын бақылау-өлшеу аспаптары мен құралдарының құрылғысы.
§ 3. ЖАРТЫЛАЙ ӨТКІЗГІШ АСПАПТАРДЫ ҚАЙНАТУШЫ
4-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Түрлі үлгідегі әйнекті металл бөлшектерді қайнату станоктарында оны процесс барысында жөндей отырып қайнату. Позициялы станоктар мен арнайы айлабұйымдарда күрделі металл-шыны оқшаулағыштарды әзірлеу. Қайнату режимін таңдау және сақтау, қайнату циклін және газ беруді реттеу. Өлшеу аспаптарының көрсеткіштерін қадағалау.
Білуге тиіс: түрлі үлгідегі қайнату станоктарының қызметі, құрылғысы, жұмыс істеу принципі, баптау, іске қосу және тоқтату ережесі; газдардың (азот, сутегі) қасиеттері; шыны мен металды дәнекерлеудің түрлі технологиялық режимдері, бақылау-өлшеу аспаптарының құрылғысы, қызметі және қолдану шарттары.
§ 4. ПРЕЦИЗИОНДЫ ФОТОЛИТОГРАФИЯ КООРДИНАТОГРАФИСІ
1-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Қарапайым бейнелердің фото түпнұсқаларын даярлау. Қарапайым бейнелердің, әріптік және сандық жазбаларын сызу. Түпнұсқаны бақылау. Жұмыс компоненттерін – лак, тушь, гуаштар және жұмыс аспаптарын даярлау.Ватманды нұсқаулыққа сәйкес дымқылдату, лактау және кептіру.
Білуге тиіс: фото түрнұсқалардың бейнелері туралы негізгі ұғымдар; әріптік және сандық жазбалардың тәсілдері, кеңінен таралған жай айлабұйымдар мен жұмыс аспаптарының қызметі мен пайдалану шарттары; бояйтын материалдарды дайындау ережесі мен әдістері; ватманды өңдеудің кезектілігі.
Жұмыс үлгілері
1. Қанық суреттерімен және шифр № 12......15 мәтінді шильдиктердің, тәсімдердің, тізімдемелердің түпнұсқалары - сызу.
2. Өткізгіштерінің ені 0,8-1 мм бір жақты баспа платаларының түпнұсқалары - әзірлеу.
3. Жай планкалар - жазба жазу.
§ 5. ПРЕЦИЗИОНДЫ ФОТОЛИТОГРАФИЯ КООРДИНАТОГРАФИСІ
2-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Координатографтарда түзу сызықтардан, осьтерге параллель координаттардан және нүктелерінің саны 1000 кез келген бұрыштағы қиғаш сызықтардан тұратын орташа күрделіліктегі түпнұсқаларды қию және оларды бақылау. Әйнекке жапсырылған ватманда қарындашпен суретті белгілеу және сызу. Суретті тушьпен қоршау және құю; эмаль және әйнекті дайындау. Эмаль пленкасын шыныға жағу. Координаттарды есептеу және оларды берілген масштабқа аудару. Кескішті кесу оправасына орнату. Жай екі жақты баспа платаларының түпнұсқаларын аппликация әдісімен дайындау және оларды координатографтарда кесу. Топологиялық сызба элементтері нүктелерінің координаттарын элементтердің өлшемдеріне шектеуді енгізуді есепке ала отырып, қайта есептеу. Түпнұсқаны өңдеу (пленка мен эмальдің қажетсіз жерлерін алу). Жазуы бар күрделі бейнелердің, жай шкалалардың және бір жақты фото түпнұсқалардың өткізгіштерді еркін орналастыра отырып, баспа платаларына фото түпнұсқаларын әзірлеу. Баспа платаларының таңбалағыш белгілерін сызу. Координатты торларды баспа платасына белгілеу және жағу.
Білуге тиіс: кеңірек таратылған әмбебап және арнайы айлабұйымдарды және жұмыс аспаптарының атаулары, қызметі және қолдану шарттары, техникалық сызудың негізгі ережесі, сызуда нормальдар мен МЕМСТ пайдалану ережесі; фото түпнұсқалар даярлауда қолданылатын аспаптардың қызметі; оларды жұмыс уақытында пайдалану ережесі; материалдарды даярлау технологиясының негіздері; координатографтың негізгі техникалық деректері, масштабтары.
Жұмыс үлгілері
1. Тауар белгілері – сызу.
2. Қанық суреттерімен және шифр № 8......12 мәтінді шильдиктердің, тәсімдердің, тізімдемелердің түпнұсқалары - сызу.
3. Тесіктердің ортасы – баспа платасы сызба координаттарына сәйкес ватманда белгілеу.
§ 6. ПРЕЦИЗИОНДЫ ФОТОЛИТОГРАФИЯ КООРДИНАТОГРАФИСІ
3-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Күрделі шкалалардың және өткізгіштері тығыз орналастырылған тәсімдердің фото түпнұсқаларын әзірлеу. Екі жақты және көпжақты баспа платаларының орташа дәрежелі күрделіліктегі түпнұсқаларын кесу және аппликация әдісімен даярлау. Элементтері тура қиғаш сызықтардан, доғалардан және нүктесінің саны 1500-ге дейін шеңберлерден тұратын орта күрделіліктегі түпнұсқаларды кесу және бақылау. Әйнекке жапсырылған ватманда түпнұсқалар дайындау. Ерекше тар орындарға таңбалау белгілері мен әріп белгілерін сызу. Автоматты координатографтарда нүктесінің саны 500-ге дейін түпнұсқаларды кесу үшін басқару бағдарламаларын құрастыру.
Білуге тиіс: координатографтардың құрылғысы және баптау әдістері, жұмыс процесінде қолданылатын бақылау-өлшеу аспаптары мен құралдардың құрылғысы; техникалық сызу негіздері; ерекше тығыз қанықтықтағы әріп және таңба белгілерін орналастыру ережесі; өткізгіштер мен олардың ара қашықтықтарының еніне шектеулер; бағдарлаушы құрылғылардың жалпы құрылғысы мен техникалық деректері.
Жұмыс үлгілері
1. Күрделі суреттермен және шифр № 6......8 мәтінді шильдиктердің, тәсімдердің, тізімдемелердің түпнұсқалары - сызу.
2. Фото түпнұсқалар – «Рубелит» пленкасында және «Кортимат» координатографында боялған шыныларда даярлау.
§ 7. ПРЕЦИЗИОНДЫ ФОТОЛИТОГРАФИЯ КООРДИНАТОГРАФИСІ
4-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Нүктелерінің саны 2000-ға дейінгі күрделі түпнұсқаларды дайындау, кесу. Берілген сызба бойынша тікбұрышты суретті түсіру. Шыныға жапсырылған ватманда түпнұсқаларды әзірлеу. Байланыс алаңшасын жер экрандарымен, лампалық панельдермен, трансформаторлармен, реле және т.б. кесе отырып екіжақты баспалық платалардың фото түпнұсқаларын даярлау. Нүктелерінің саны 1000-ға дейінгі түзу, қиғаш сызықты, доғалы, шеңберлі түпнұсқаларды кесуге арналған басқару бағдарламаларын жасау. Түпнұсқалар жиынтығының алмасуын тексеру. Түпнұсқалардағы жеңіл қателерді түзету. Кесетін аспапты тексеру. Дайындалған фототүпнұсқаны тексеру.
Білуге тиіс: қызмет көрсетілетін және қолданылатын оптикалық аспаптардың құрылымы; күрделі және дәл аспаптардың қызметі мен қолдану принципі, түпнұсқаларды дайындауға қойылатын технологиялық талаптар; күрделі және ерекше күрделі екіжақты тәсімдерді монтаждау; өткізгіштердің еніне қойылатын шегі және екіжақты монтаждауға арналған олардың ара қашықтығы; схемография теориясының негіздері.
Жұмыс үлгілері
1. Ауыстырылатын көпқабатты баспалық платалардың жиынтықтары – көпқабатты баспалық монтаждауға түпнұсқаларды даярлау.
2. пленкалы, гибридті және қатты микротәсімдердің түпнұсқалары - ±0,0З мм дәлдікте берілген сызба бойынша дайындау.
3. Аспаптардың шкалаларына арналған циферблаттар – сызу.
§ 8. ПРЕЦИЗИОНДЫ ФОТОЛИТОГРАФИЯ КООРДИНАТОГРАФИСІ
5-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Жоғары күрделіліктегі баспа платалары мен нүктелерінің саны 2500 және одан да көп микротәсімдердің түпнұсқаларын координатографтарда оларды орналастырып, қолданылатын аспаптарды теңшеп, даярлау, тексеру және өлшеу. Нүктелерінің саны 1500 автоматты координатографтарда түпнұсқаларды кесуге арналған басқару бағдарламаларын құрастыру. Түпнұсқалардағы қателерді түзету. Дайындалатын түпнұсқалардың өлшеміне шек енгізу. Дайындаушылардың бағдарын таңдау. Берілген күрделіліктегі жұмысқа арналған жабдықтар мен айлабұйымдарды дербес таңдау.
Білуге тиіс: түрлі үлгідегі және модельдегі координатографтардың құрылымы; координатографтың, бақылау-өлшеу аспаптарының, қосалқы айлабұйымдар мен бағдарлаушы құрылғылардың дәлдігін реттеу және тексеру, теңшеу ережесі; фототүпнұсқаларда түрлі күрделіліктегі баспалық платалар мен микротәсімдерді құру ережесі.
Кәсіптік орта білім қажет етіледі.
§ 9. ВАКУУМДЫ-ТОЗАҢДАТУ ПРОЦЕСТЕРІНІҢ ОПЕРАТОРЫ
2-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Вакуумды және плазмалық құрылғыларда бірқабатты пленкалардың металлдары мен шыныларын тозаңдату. Құрылғының жұмыс камерасына экрандар мен булағыштардың жиегі мен маскаларын дәлдемей орнату. Түрлі құрылымдағы булағыштарға буланатын металлдар мен шынылардың ілмектерін тиеу. Тозаңдату процесінде қалыңдықты өлшеу, тұтастығын және адгезияны бақылау.
Білуге тиіс: қызмет көрсетілетін құрылғылардың қызметі, құрылғысы және пайдалану ережесі, қолданылатын бақылау-өлшеу аспаптарының қызметі мен жұмыс істеу принципі; оларды пайдалану және ұстау ережесі; тарту процесінің қызметі; вакуум деңгейін бақылау әдістері мен тәсілдері; тозаңданатын материалды булау және отырғызу режимдері.
§ 10. ВАКУУМДЫ-ТОЗАҢДАТУ ПРОЦЕСТЕРІНІҢ ОПЕРАТОРЫ
3-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Вакуумды және плазмалық құрылғыларда көпқабатты пленкалы микротәсімдерді тозаңдату. Вакуум құрылғының жұмыс камерасына жиегін, маскалар, экрандар және булағыш орнату. Түрлі құрылымдағы булағыштарға булау материалдарының (алтын, алюминий, нихром және т.б.) ілмегін жүктеу. Магнетронды тозаңдату құрылғысындағы нысаналарды ауыстыру. Тозаңдату процесінің электр параметрлерін бақылау; микроскоптың көмегімен алынған пленкалардың тозаңдалған қабатын және қалыңдығы сапасын айқындау.
Білуге тиіс: қызмет көрсетілетін жабдықтың құрылғысы, қолдану принципі және баптау тәсілдері; әмбебап және арнайы айлабұйымдардың, бақылау-өлшеу аспаптардың құрылғысы; тарту процесінің қызметі, тозаңданатын материалды булау және отырғызу режимдері, вакуум деңгейін бақылау тәсілдері мен әдістері, буланатын материалдың негізгі қасиеті мен сипаттамасы; электр техникасы мен вакуумды техниканың негізгі заңдары.
Жұмыс үлгілері
1. Кварц резонаторлардың кристаллды элементтері - тозаңдату.
2. Квант аспаптар - үшқабатты айнаны тозаңдату.
3. Жиектері, пленкалар, ситалл серіктері – тозаңдатылған қабаттың сапасы мен қалыңдығын бақылай отырып алюминий, алтын, нихром, индий, ванадий, никель, молибденді тозаңдату.
4. Резисторлар – маска арқылы ситалл жиегін тозаңдату.
§ 11. ВАКУУМДЫ-ТОЗАҢДАТУ ПРОЦЕСТЕРІНІҢ ОПЕРАТОРЫ
4-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Бір және бірнеше қабатты металлдарды пластиналарға, сондай-ақ термиялық тозаңдату вакуумды құрылғыларында пленкаларды тозаңдату. Түрлі үлгідегі вакуум құрылғыларға, оның ішінде тозаңдатудың магнетронды тәсілімен қызмет көрсету. Құрылғылардың жұмысындағы ақаулықтарды айқындау және оларды жою бойынша шараларды қабылдау. Бақылау процесінің нәтижелері бойынша тозаңдату режимдерін түзету. Бақылау-өлшеу аспаптарының көмегімен отырғызу режимдерін тіркеу және ұстап отыру. Тозаңдатылған қабаттың сапасы мен алынған пленкалардың қалыңдығын микроскоптың көмегімен айқындау.
Білуге тиіс: түрлі үлгідегі вакуум құрылғылардың құрылымы; кинематиканы, электр және вакуум тәсімдерді; қызмет көрсетілетін жабдықтың дәлдігін баптау және тексеру ережесі; бақылау-өлшеу аспаптары мен құралдарының құрылғысы, қызметі және қолдану шарттары; әмбебап және арнайы айлабұйымдардың құрылымы; ағатын жерлерді табу тәсілдері; микротәсімдердің ток жүргізетін, резистивті және оқшаулаушы элементтерін алуда пайдаланылатын пленкалардың негізгі қасиеттері; жұқа пленкаларды алудың физикалық процесінің негіздері; ақаудың негізгі түрлері және оның пайда болу себептері.
Жұмыс үлгілері
1. Жұқа пленкалы конденсаторлар – мыс, нихром, кремний көп тотығын тозаңдандыру.
2. Микротәсімдер (кіші дәрежелі кіріктіру), ВЧ транзисторлар - алюминий, алтын, нихром, молибден пластиналарын; молибден-алюминий, титан-алюминий, вольфрам-алюминий, вольфрам-алюминий-вольфрам жүйелерін тозаңдандыру.
3. Көп қабатты пленкалы микроқұрылымдар – пленка сапасы мен қалыңдығын бақылай отырып, вакуумда тозаңдату әдісімен алу.
4. Берілген рельефті пластиналар – үшқабатты түзеткіш байланысты термиялық булау әдісімен алу.
5. Люминесцентті индикаторларға арналған анодты платалар – металлдың бірнеше қабатын тозаңдату.
6. Пленкалар (үшацетатты, ПЭТФ) – алюминий тозаңдату.
7. Квант аспаптар – бес қабатты айналарды тозаңдату.
8. Металдандырылған фотошаблондар – хромды тозаңдату.
Достарыңызбен бөлісу: |