Ұзындық өлшегіштер. 0-ден 100 мм-ге дейінгі абсолютті өлшеулер үшін пайдаланылады. Вертикальді ұзындық өлшегіш өлшеу объектісі қойылатын заттық столдан (1) (5.6–сурет), есептік құрылғының (5) өлшеу тілшелерінен (2) және шкалаларынан (4) бар пинолдардан (3), өлшеу күштерін реттеуге арналған шайбалардан (6) және ленталардан (7), жүктер 8 мен демпферлерден (9) тұрады. Есептік құрылғы спиральді Нониус шкаласы бойынша визуальды есебімен (ДВО типі), экранға проекцияланатын шкала бойынша визуальды есебімен (ДВЭ, ДГЭ типі), автоматты сандық есебімен болуы мүмкін. Есептің қателігі 1 мкм.
Мироненко сұлбасы бойынша ұзындық өлшегіште есептік құрылғы екі торы бар растр түрінде орындалған – ұзындық өлшегіштің пинолына бекітілген өлшеу растры (қозғалмалы), аспаптың тұрқысына орналастырылған индикаторлы растр (қозғалмайтын).
Өлшеу растрының ұзындығы өлшеу объектісінің шектеріне сәйкес келу керек, яғни өлшенетін өлшемнен қысқа болмау керек, негізінен индикаторлы растр қысқа болып келеді. Растрларды қойғанда және олардың біреуін орналастырғанда, аспап есебінің дәлдігін анықтайтын, жиілігі растр қадамымен g анықталатын жарықтық импульстер байқалады. Импульстерді есептеу үшін есептеуіш пайдаланылады.
Интерферометрлер. Бұл типтегі өлшеу құралдарында жарық интерфернециясының қағидасы пайдаланылады. Бұл осы класстың ең дәл аспаптары болып табылады. Олар үлгілік бөлшектерді, калибрлерді және соңғы өлшемдерді аттестаттау үшін қолданылады. Олар лазермен бірге үйлесе отырып, 10-13 м-ге дейінгі ұзындықтың өзгеруін тіркей алады және окулярлық, экрандық, сандық есептік құрылғылармен қамтылған. Вертикалды (264 модель) және горизонталды (273 модель) өлшеулерге арналған түрлері шығарылады.
Контактілі интерферометрлерде 0,05-тен 0,2 мкм-ге дейінгі ауыспалы бөліну бағасы бар және Майкельсон сұлбасы бойынша жұмыс істейді. Жарық жарық көзінен (2, 5.7-сурет) конденсатор (3) және фильтр (4) арқылы жартылай мөлдір бөлгіш пластинаға (5) түседі, сол жақтан өлшеу тілшесі бар пинолға бекітілген айнаға (8) сәулелердің бір бөлігі түседі, ал басқа бір бөлігі пластина (6) арқылы индикаторлы айнаға (1) түседі.
Қос айнадан шағылған жарық сәулелері объективте (7) қалыңдығы бірдей жолақтармен интерференциялық суретті түзеді.
Ақ түспен жарықтандырғанда окулярдың көру өрісінде орталықта қара және бүйір жақтарда боялған жолақшалар пайда болады. Монохроматты жарықтандыруды туғызатын жарық фильтрін енгізген кезде, окулярдың көру өрісінде интенсивтілігі бірдей жолақтар пайда болады, олардың арақашықтығы жарық фильтрінің жарық толқынының жартысына сәйкес келеді.
Интерферометрдің өндірістік мүмкіндіктерін кеңейту – жұмыс жылдамдығын, өлшеу диапазонын, дәлдікті жоғарылатады, шуға, дірілге сезімталдықты болдырмайды, жарық сәулесінің шығынын азайтатын, жарық ағынының үлкен монохроматтылығы мен интенсивтілігін қамтитын лазерлерді қолдануға әсер етеді.
Достарыңызбен бөлісу: |