148
34 Advanced micro & nanosystems. CMOS-MEMS / edited by H. Baltes, O.
Brand, G.K. Fedder, C. Hierold, J. Korvink, O. Tabata. – Weinheim: WILLEY-
VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, 2005. - Vol. 2.
35 Михайлов П.Г. Микроэлектронный датчик давления и температуры //
Приборы и Системы. Управление, Контроль, Диагностика. – 2003. - №11. - С.
29-31.
36 Михайлов П.Г., Ожикенов К.А., Касимов А.О., Аналиева А.У. Узлы и
компоненты микроэлектронных датчиков // Известия Южного федерального
университета. Технические науки. – 2015. - №3(164). - С. 184-193.
37 Удд Э. Волоконно-оптические датчики / под ред.Э. Удда. — М.:
Техносфера, 2008. - 520 с.
38 Kouprianov Vladimir G., Morozov Oleg G., Kouprianov Vladimir G.
Structural minimization of fiber optic sensor nets for monitoring of dangerous
materials storage // Proceedings of SPIE – The International Society for Optical
Engineering. – 2011. – Vol. 7992. – P. 7992.
39 Ожикенов К.А., Михайлов П.Г., Айтимов М.Ж., Кушегенова Ж.К.
Микроэлектрондық интеллектуалды датчиктердегі өлшеуіш модульдерді мен
сезімтал элементтерді диагностикалау мен бақылаудың мәселелерін зерттеу //
ҚазҰТЗУ Жаршысы. – 2016. - №6. - Б. 331-336.
40 Ожикенов К.А., Михайлов П.Г., Айтимов М.Ж., Кушегенова Ж.К.
Физикалық шама датчиктерінің тұрақтылығын қамтамасыз ету мәселелері //
ҚазҰТЗУ Жаршысы. – 2016. - №6. - Б. 143-149.
41 Морозов А.И. Физика твердого тела. Кристаллическая структура.
Фононы: учебное пособие. – М.: Московский государственный институт
радиотехники, электроники и автоматики (технический университет)», 2010. –
140 с.
42 Шалимова К. В.Ш 18 Физика полупроводников: учебник. - 4 е изд.,
стер. - СПб.: Издательство «Лань», 2010. - 400 с.
43 Кузнецов Е.А., Шапиро Д.А. Методы математической физики: курс
лекций. - Новосибирский государственный университет, 2011. - Ч.1. – 131 с.
44 Маделунг
Э. Математический аппарат физики. Справочное
руководство / пер. с нем. – М.: Гос. Изд-во Физико-математической
литературы, 1960. - 618 с.
45 Тревис Д. LabVIEW для всех / пер. с англ.–М.: ДМК Пресс, 2004. - 912
с.
46 Силвестр П., Феррари Р. Метод конечных элементов для инженеров –
электриков, для радиоинженеров . - М.: Мир, 1986 – 229 с.
47 Тихоненков В.А., Тихонов А.И. Теория, расчет и основы
проектирования датчиков механических величин. - Ульяновск: УлГТУ, 2000. –
452 с.
48 Михайлов П.Г. Микроэлектронные датчики: вопросы разработки //
Микросистемная техника. – 2003. –№1. - С. 4-7.
49 Ваганов В.И. Интегральные преобразователи. − М.: Энергоатомиздат,
1983. − 136 с.
149
50 Викулин Н.М., Стафеев В.И. Физика полупроводниковых приборов. -
М.: Радио и связь, 1990. - 264 с.
51 Зевеле Г.В., Ионкин П.А. Основы теории цепей: учебное пособие для
Вузов. - 5е изд., перераб. - М.: Энергоатомиздат, 1989. – 528 с.
52 Михайлов П.Г. Синтез информационно-энергетических моделей
датчиков // Приборы и Системы. Управление, Контроль, Диагностика. – 2003. -
№3. - С. 37-40.
53 Карлащук В.И. Электронная лаборатория на IBM PC. Лабораторный
практикум на базе Elektronics Workench и MATLAB. - Издание 5-е. – М.:
САЛОН-Пресс, 2004. – 800 с.
54 Ожикенов К.А., Михайлов П.Г., Айтимов М.Ж. Көппараметрлі өлшеу
концепциясы // Қазақстан Республикасы Тәуелсіздігінің 25-жылдығы мен
Сулейман Демирел атындағы университеттің 20-жылдығына арналған «Білім
және ғылым саласындағы инновациялар» атты халықаралық ғылыми-
практикалық конференциясы. – 2016. – Т.1. - Б. 80-87.
55 Ivanov E., Izaak T., Svinolupov Yu. The capacitance sensor of differential
pressure // The 16th Conf. On Solid-State Transducers «EUROSENSOR XVI». -
Prague, 2002. - P. 777 – 778.
56 Ахметов Б.С., Айтимов М.Ж Харитонов П.Т. Применение метода
цифровой идентификации в интеллектуальных радиочастотных датчиках для
инвариантных систем измерения // Вестник КазНТУ имени К.И. Сатпаева. -
2013. - № 6(100). - С. 83-86.
57 А.с. 1420716 СССР. Цифровой измеритель температуры и влажности /
Харитонов П.Т.; опубл. 1988.
58 Гутников
В.С. Интегральная электроника в измерительных
устройствах. - 2-е изд., перераб. и доп. - Л.: Энергоатомиздат.; Ленингр.
отделение, 1988 – 248 с.
59 Аналиева А.У., Громков Н.В., Ломтев Е.А., Харитонов П.Т.
Интеллектуальные датчики физических величин для интегрированных ON-
LINE информационных систем // Информационно-измерительные и
управляющие системы. – 2014. - № 2 (8). - С. 41-47.
60 Соколов А.В., Чернецов М.А. Чувствительные элементы и
измерительные модули датчиков давления. Вопросы стандартизации и
унификации // Известия Высших учебных заведений. Поволжский регион
Технические науки – 2013. - №3. - С. 148-154.
61 Фрайден Дж. Современные датчики: справочник / пер. с англ.– М.:
Техносфера, 2005. – 588 с.
62 Джексон Р.Г. Новейшие датчики: справочник / пер. с англ. - М.:
Техносфера, 2007. - 380 с.
63 ГОСТ Р 51086-97 Датчики и преобразователи физических величин
электронные. Термины и определения. Госстандарт России ИПК. -
Издательство стандартов, 1997.
150
64 ГОСТ Р 8.673-2009 ГСИ Датчики интеллектуальные и системы
измерительные интеллектуальные. Основные термины и определения.
Госстандарт России ИПК. - Издательство стандартов, 2009.
65 Васильев В.А., Чернов П.С. Интеллектуальные датчики, их сети и
информационные системы // Материалы МНТК INTERMATIC. – М.: МИРЭА,
2012. – Ч. 4. - С. 119-122.
66 IEEE
1451.
Smart
Transducer
Interface
Standards
//
http://ieee1451.nist.gov (дата обращения 24.05.2012).
67 Bröring A. е. а. New Generation Sensor Web Enablement // Sensors. -
2011. - №11. - P. 2652–2699.
68 Liu M. An Energy-Aware Routing Protocol in Wireless Sensor Networks //
Sensors. - 2009. - №9. - P. 445–462.
69 Микроэлектроника и прецизионные датчики. Обзор фирмы Honеywell
//http://www.favorit.ru/files/catalog/Honeywell/Honeywellmicroelectronicsoverview.
pdf.
70 Интеллектуальные датчики давления Метран 150 исполнения АС //
http://www2.emersonprocess.com/
ru-RU
/news/pr
/PublishingImages
/Metranatom.pdf.
71 Пат. 2398196 G01L9/04 B81B1/00 RU Устройство для измерения
давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы с частотным
выходным сигналом / Васильев В.А., Громков Н.В.; опубл. 1996.
72 Пат. 2396705 H03K5/00 RU. Частотный преобразователь сигнала
разбаланса тензомоста / Васильев В.А., Громков Н.В.
73 Катков А. Н. Алгоритмы коррекции погрешностей тензометрических
датчиков давления цифровыми вторичными преобразователями // Молодой
ученый. — 2011. - Т.1, №8. — С. 58-60.
74 Рейзман А.Я., Островский М.А., Красовский В.Е. Интеллектуальные
датчики: новые средства разработки и новый уровень полевой автоматики //
Датчики и Cистемы. – 2007. – №10. – С. 8–11.
75 IEEE 1451.2-1997 IEEE Standard for a Smart Transducer Interface for
Sensors and Actuators Transducer to Microprocessor Communication Protocols and
Transducer Electronic Data Sheet (TEDS) Formats.
76 IEEE 1451.1-1999 IEEE Standard for a Smart Transducer Interface for
Sensors and Actuators- Network Capable Application Processor Information Model.
77 Пат. 2247325 RU Способ температурной корректировки передающей
функции
датчика
физической
величины
//http://www.findpatent.ru/patent/224/2247325.html
78 Радиомодули Bluetooth 4.0 для многолетней работы беспроводных
датчиков // http://www.compel.ru/2012/05/30/
79 Пазюк А. Датчики и преобразователи Texas Instruments: разнообразие
решений для всех типов измерений // Новости электроники. – 2015. - №10, ч.
2.
80 Айтимов М.Ж., Харитонов П.Т., Аналиева А.У. Перспективы
построения моноблочного метеокомпьютера // Материалы IV Международной
151
научно-практической конференции «Научные аспекты инновационных
исследований». – Самара: ООО «Аспект», 2013. - С.14-18.
81 Ахметов Б.С., Харитонов П.Т., Бейсембекова Р.Н., Аналиева А.У.,
Айтимов М.Ж. Инновациялық патент «Техногенді объектілерден өндірілетін
қоршаған ортаны ластаудың жеке есебін алу жүйесі»». Қазақстан Республикасы
әділет министрлігі №29649. 24.02.2015 ж.
82 Айтимов М.Ж., Михайлов П.Г., Петрунин Г.В., Аналиева У.А.,
Перспективы применения высокотемпературных материалов в чувствительных
элементах микромеханических акселерометров, используемых в экстремальных
условиях эксплуатации // Сб. статей МНТК «Проблемы автоматизации и
управления в технических системах. - Пенза: Издательство ПГУ, 2015. – С.
285-289.
83 Akhmetov B., Aitimov M. Data collection and analysis using the mobile
application for environmental monitoring // The 12th International Conference on
Mobile Systems and Pervasive Computing (MobiSPC 2015). – Belfort; France:
Procedia Computer Science, 2015. – Vol. 56.
84 Ожикенов К.А., Михайлов П.Г., Айтимов М.Ж., Кушегенова Ж.К.
Сенсорлық
элементтердің
микромеханикалық
құрылымдарындағы
механикалық және жылулық деформациялары // ҚазҰТЗУ Жаршысы. – 2016. -
№5. - Б. 497-501.
85 Айтимов М.Ж., Михайлов П.Г., Петрунин Г.В., Аналиева У.А.,
Суханов Д.М. Модели размерных цепей датчиков давления // Сб. статей МНТК
«Проблемы автоматизации и управления в технических системах. – Пенза:
Издательство ПГУ, 2015. – С. 387-392.
86 Михайлов П.Г., Ожикенов К.А., Айтимов М.Ж.,. Соколов А.В,
Сергеев Д.А Скотников., В.В, Маринина Л.А., Аналиева А.У., Машир Г.
Инженерные модели компонентов датчиков физических величин // Труды XII
Международной научно-практической интернет-конференции Молодежь.
Наука. Инновации (Youth.Science.Innovation). - Пенза: Издательство ПКИТ
ФГБОУ ВО «МГУТУ» им. К.Г. Разумовского (ПКУ), 2016. - С. 191-196.
87 Ожикенов К.А., Михайлов П.Г., Айтимов М.Ж., Кушегенова Ж.К.,
Кагазбекова Л.С. Физикалық шамаларды өлшеуге арналған микроэлектронды
датчиктердің өлшеу модульдары мен сезімтал элементтерінің базалық
құрылымдары // ҚазҰТЗУ Жаршысы. – 2017. - №1. - Б. 223-226.
88 Ожикенов К.А., Михайлов П.Г., Айтимов М.Ж. Разработка методов
неразрушающего контроля и диагностики чувствительных элементов и
измерительных
модулей
датчиков.
«АҚПАРАТТЫҚ
ЖӘНЕ
ТЕЛЕКОММУНИКАЦИЯЛЫҚ ТЕХНОЛОГИЯЛАР: БІЛІМ, ҒЫЛЫМ,
ТӘЖІРИБЕ» атты ІІ Халықаралық ғылыми-тәжірибелік конференциясының
еңбектері. Алматы, Қазақстан, 3-4 желтоқсан, 2015 жыл, II том, б. 258-262
89 Ожикенов К.А., Михайлов П.Г., Айтимов М.Ж., Кушегенова Ж.К.,
Кагазбекова Л.С. Сиымдылығы жоғары қысым датчиктерін модельдеу //
ҚазҰТЗУ Жаршысы. – 2017. - №1. – Б. 226 – 229.
90 Ожикенов К.А., Михайлов П.Г., Айтимов М.Ж. Технические
152
измерения в технологии и производстве радиоэлектронной аппаратуры и
измерительных систем: учебное пособие. - ТОО «Издательство LEM», 2016.
162 c.
91 Михайлов П.Г. Микромеханические устройства и приборы:учебное
пособие. - Пенза: Информационно-издательский центр ПГУ, 2007. - 174 с.
92 Пат. 1437698 RU. Интегральный преобразователь давления и
температуры / Михайлов П.Г., Козин С.А., Белозубов Е.М.; опубл. 1998.
93 Михайлов П.Г., Ожикенов К.А., Касимов А.О., Аналиева А.У. Узлы и
компоненты микроэлектронных датчиков // Известия Южного федерального
университета. Технические науки. – 2015. - № 3(164). - С. 184-193.
94 Михайлов П.Г., Соколов А.В. Синтез и анализ физико –
математических моделей емкостных чувствительных элементов датчиков,
используемых в системах мониторинга состояния строительных конструкций //
Региональная архитектура и строительство. – 2012. - №3. - С. 102 – 109.
95 //About Arduino. Retrieved March 03, 2015 from Arduino.ru:
http://arduino.ru/ 90
96 // Experiment 7: Reading a Temperature Sensor, Introduction. Retrieved
March 03, 2015: http://specksensor.org/ 91
97 Sicard C., Glen C., Aubie B., Wallace D., Jahanshahi-Anbuhi S.,
Pennings K., Daigger G.T., Pelton R., Brennan J.D., Filipe C.D.M. Tools for
water quality monitoring and mapping using paper-based // Sensors and cell phones.
– 2015. – Vol. 70. – P. 360-369.
98 Chmaj G., Selvaraj H. Distributed Processing Applications for
UAV/drones: A Survey, Advances in Intelligent Systems and Computing // 23rd
International Conference on Systems Engineering, ICSEng. - Las Vegas; United
States; 2015. - Vol. 1089. – P. 449-454.
99 Hu W., Bulusu N., Jha S. A communication paradigm for hybrid
sensor/actuator networks // IEEE 15th International Symposium on Personal, Indoor
and Mobile Radio Communications, PIMRC 2004. - Barcelona; Spain, 2004. –
Vol.1. – P. 201-205.
100 Akbas M.I., Erol-Kantarci M., Turgut D. Localization for wireless sensor
and actor networks with meandering mobility // IEEE Transactions on Computers. –
2015. - Vol.64, issue 4. - P. 1015-1028.
101 Коваленко О.С., Курейчик В.М. Обзор проблем и состояний облачных
вычислений и сервисов // Известия ЮФУ. Технические науки. - 2012. – Т. 132,
№7.
102 Михайлов П.Г., Соколов А.В., Сергеев Д.А., Чернецов М.А.
Метрологическое обеспечение процесса производства датчиков давления //
Современные информационные технологии // Труды МНТК. – Пенза: ПГТА,
2011. – Вып. 14. - С. 204-209.
103 ГОСТ 16263-70. Метрология. Термины и определения. - М.:
Госкомитет стандартов Совета министров СССР, 1976.
104 ГОСТ 8.009-84 ГСИ. Нормируемые метрологические характеристики
средств измерений.
153
105 ГОСТ 8.256-77 Государственная система обеспечения единства
измерений. Нормирование и определение динамических характеристик
аналоговых средств измерений. Основные положения.
106 Гусаров В.В. Тенденции в совершенствовании программ и методик
испытаний датчиков давления // Мир измерений. – 2002. – № 7-8. – С. 23 – 27.
107 Тарбеев Ю.В., Кузин А.Ю., Тайманов Р.Е., Лукашев А.П. Новый этап
в развитии метрологического обеспечения датчиков // Измерительная техника. -
2007. - №3. - С. 69-73.
108 Михайлов П.Г., Ожикенов К.А. Особенности измерения и контроля
геометрических параметров элементов и узлов датчиков физических величин //
Измерение. Мониторинг. Управление. Контроль. – 2015. - № 1(11). - С. 36-43.
109 Михайлов П.Г. Экспериментальное исследование совмещенного
датчика давления и температуры // Приборы и Системы. Управление, Контроль,
Диагностика. – 2003. - №12. - С. 27-29.
154
ҚОСЫМША А
1. Сынақтардың мақсаты
1.1 Жеткізу сынақтары (ЖС) «Техникалық тапсырмалар ТТ» және
«Техникалық шарттар. ТШ» талаптарының техникалық мінездемесіне сай
макеттік үлгіде және бағалауда қолданылған конструкциялық және схемалық
шешімдерді тексеру мақсатында жүргізілді.
1.2 Сынақтар келесідей құжаттар негізінде өткізілді:
ЖС жүргізу бойынша комиссия белгілеу жайлы жолдаманы бас
конструктордың бөлуі;
техникалық тапсырмаТТ (ТТ);
ПМ1 жеткізу сынақтар бағдарламасы (ПМ1);
техникалық шарттар ТШ (ТШ).
2. Сынақ нысандары
2.1 Сынақтан пішіндемеде жеткізулік сынақтарға рұқсат жайлы
қорытындысы бар 2 дана қысым мен температураның макеттік үлгісі өтті.
(өлшеулердің белгілеулері мен диапазоны 1-кестеде берілді).
Кесте А 1
Датчик
индексі
Белгілеуі
Саны
Өлшеулер диапазоны
МПа
кгс/см2
ДДТ-1
1
1
0
0,5
0
5
ДДТ-1-03
2
1
0
4
0
40
3. Сынақтардың нәтижелері 2-6-кестелерде берілді.
Кесте А 2 - Қысымның арнасының бастапқы және шекті шамаларының
бақылау нәтижелері. Қорек көзі кернеуін бақылау
Параметр атауы
Датчик нөмірі
ТШ талабы
1
2
U0,мВ өлшенетін
қысымның нөлдік
мән жағдайындағы
шығу кернеуі
1,481
-1,564
(0
5)
Uпред, өлшенетін
қысымның жоғары
шегі жағдайындағы
шығу кернеуі, мВ
99,80
94,23
(100
10)
Қуаттану кернеуі,
В
6,0
6,0
6
0,05
155
Кесте А3 - Температура арнасының шығу сипаттарын бақылау.
Бастапқы шығу кернеуі U0t
Датчик
нөмірі
Баст.шығу
дабылы,мВ
U0t температураларда болғандағы шығу кернеулері, мВ
-70
-50
-10
0
+20
+40
+80
+100
+120
1
-13,90
389 287
107
72,78
3,160
-62,44
-168
-212
-247
2
-15,91
479
356
131
40
-4,21
-76,34 -200,8 -248,0 -306
Кесте А4 - Температура арнасының шекті шығыс кернеуі
Uпредt
сипаттарын
бақылау
Кесте А5 - Жүктемелік сипаттамалар
Қысым
кгс/см2
Шығу кернеуі, мВ
1 цикл
2 цикл
3 цикл
4 цикл
Uн
Uб
Uн
Uб
Uн
Uб
Uн
Uб
0
-0,74
-0,78
-0,73
-0,78
-0,82
-0,75
-0,75
-0,75
0,5
11,03
11,00
11,03
11,10
11,06
11,00
11,03
11,06
1
22,60
22,60
22,54
22,53
22,59
22,59
22,56
22,60
1,5
33,39
33,43
33,41
33,47
33,46
33,44
93,39
33,48
2
43,83
43,79
43,81
43,82
43,80
43,84
43,75
43,81
2,5
53,52
53,53
53,52
53,49
53,56
53,47
53,47
53,55
3
62,98
62,98
62,92
62,94
62,97
62,99
63,00
62,97
3,5
71,60
71,61
71,60
71,61
71,67
71,64
71,64
71,67
4
80,05
80,05
80,04
80,03
80,10
80,07
80,11
80,07
4,5
87,93
87,94
87,91
87,86
87,86
87,87
87,88
87,90
5
95,45 95,36 95,45 95,41 95,37 95,40 95,44
95,42
Кесте А6 - Төмендетілген температураның әсер етуіне сынақтар жасау
нәтижелері
Датчик
нөмірі
Сынақ алдында
( t = + 25 ОС)
t = - 70 ОС температура
жағдайында
Сынақтан кейін
( t = + 25 ОС)
Uo
Uпред
Uo
Uпред
Uo
Uпред
1
1,49
100,7
7,75
100,49
1,49
99,92
2
- 1,94
97,79
7,78
100,51
- 2,41
97,30
ТШ талабы
(0
5) мВ
(100
10) мВ
-
-
(0
5) мВ
(100
10) мВ
Датчик
нөмірі
Pпред
жағдайындағы
шығу
дабылы,мВ
Uпредt температураларда болғандағы шығу кернеулері, мВ
-70
-50
-10
0
+20
+40
+80
+100
+12
0
1
19,40
426
324
142
106,92
36,65
-
30,42
-138
-183
-
221
2
43,40
576
442
200
70
56,1
-
21,99
-
156,6
-
207,6
-
270
156
ҚОСЫМША Б
157
158
159
ҚОСЫМША C
160
Достарыңызбен бөлісу: |