РАСЧЕТ ГЛОБАЛЬНОГО ТЕПЛООБМЕНА В УСТРОЙСТВЕ
|
Учитываются следующие основные процессы:
Теплообмен теплопроводностью и излучением;
Резистивный и высокочастотный нагрев;
Турбулентные и ламинарные течения расплава, газа в ростовой камере, флюса над расплавом;
Формирование элементарных дефектов и их последующая кластеризация.
|
ТРЕХМЕРНЫЕ НЕСТАЦИОНАРНЫЕ РАСЧЕТЫ ТУРБУЛЕНТНОЙ КОНВЕКЦИИ РАСПЛАВА
|
|
Получение данных о структуре и характеристиках течения расплава (что очень трудно изучить экспериментально ):
перестройка течения во времени,
тепловые пульсации,
флуктуации поля скорости;
Расчет транспорта примесей в расплаве и их встраивание в выращиваемый кристалл ( контроль качества полупроводникового материала )
Точный расчет геометрии фронта кристаллизации и ее изменения во времени ( это связано с расчетами дефектов в кристалле )
|
|
Достарыңызбен бөлісу: |