Выращивание кристаллов методом Чохральского


РАСЧЕТ ГЛОБАЛЬНОГО ТЕПЛООБМЕНА В УСТРОЙСТВЕ



жүктеу 202 Kb.
бет6/6
Дата04.01.2022
өлшемі202 Kb.
#31643
1   2   3   4   5   6
Выращивание кристаллов методом Чохральского

РАСЧЕТ ГЛОБАЛЬНОГО ТЕПЛООБМЕНА В УСТРОЙСТВЕ



Учитываются следующие основные процессы:

  • Теплообмен теплопроводностью и излучением;

  • Резистивный и высокочастотный нагрев;

  • Турбулентные и ламинарные течения расплава, газа в ростовой камере, флюса над расплавом;

  • Формирование элементарных дефектов и их последующая кластеризация.



ТРЕХМЕРНЫЕ НЕСТАЦИОНАРНЫЕ РАСЧЕТЫ ТУРБУЛЕНТНОЙ КОНВЕКЦИИ РАСПЛАВА



  • Получение данных о структуре и характеристиках течения расплава (что очень трудно изучить экспериментально ):



    • перестройка течения во времени,

    • тепловые пульсации,

    • флуктуации поля скорости;

  • Расчет транспорта примесей в расплаве и их встраивание в выращиваемый кристалл ( контроль качества полупроводникового материала )

  • Точный расчет геометрии фронта кристаллизации и ее изменения во времени ( это связано с расчетами дефектов в кристалле )




жүктеу 202 Kb.

Достарыңызбен бөлісу:
1   2   3   4   5   6




©g.engime.org 2024
әкімшілігінің қараңыз

    Басты бет
рсетілетін қызмет
халықаралық қаржы
Астана халықаралық
қызмет регламенті
бекіту туралы
туралы ережені
орталығы туралы
субсидиялау мемлекеттік
кеңес туралы
ніндегі кеңес
орталығын басқару
қаржы орталығын
қаржы орталығы
құрамын бекіту
неркәсіптік кешен
міндетті құпия
болуына ерікті
тексерілу мемлекеттік
медициналық тексерілу
құпия медициналық
ерікті анонимді
Бастауыш тәлім
қатысуға жолдамалар
қызметшілері арасындағы
академиялық демалыс
алушыларға академиялық
білім алушыларға
ұйымдарында білім
туралы хабарландыру
конкурс туралы
мемлекеттік қызметшілері
мемлекеттік әкімшілік
органдардың мемлекеттік
мемлекеттік органдардың
барлық мемлекеттік
арналған барлық
орналасуға арналған
лауазымына орналасуға
әкімшілік лауазымына
инфекцияның болуына
жәрдемдесудің белсенді
шараларына қатысуға
саласындағы дайындаушы
ленген қосылған
шегінде бюджетке
салығы шегінде
есептелген қосылған
ұйымдарға есептелген
дайындаушы ұйымдарға
кешен саласындағы
сомасын субсидиялау