Электрон сәулесімен өңдеу әдісі

 (электрондық бомбылау) қатты 

материалдарды  өңдеудің  жоғары  тиімді  әдісі  болып  табылады. 

Электронды микроскопты пайдалану тәжірибесі балқытылған қатты 

материалдарды  өңдеу  үшін  концентрацияланған  электронды 

сәуленің  энергиясын  пайдалану  мүмкіндігін  орнатуға  мүмкіндік 

берді.  Ауыспалы  камерада  1-ден  3  000  Гц  жиіліктегі  электронды 

сәуле  және  0,01-ден  0,00005-ге  дейінгі  серпін  ұзақтығы  шамамен 

115 000...165 000 км/с электрон жылдамдықта пайда болады. Өңдеу 

аймағындағы  температура  алынып  тасталған  металл  мөлшеріне 

және  оның  жылу  және  химиялық  қасиеттеріне  байланысты, 

металлдың механикалық қасиеттері өңдеу уақытына әсер етпейді. 

Электрондық-сәулелік  қондырғы  қуат  көзінен,  вакуумдық 

жабдықтан,  бағдарламалық  басқару  блогынан  және  электрондық-

оптикалық  түтіктен  тұрады.  Электрондардың  сәулеленуін  және 

электронды  сәулені  шығару  үшін  катодты  қыздыруды  жүзеге 

асыратын  қуат  көзі  бар.  Механикалық  және  диффузиялық  май 

сорғысынан тұратын вакуумдық жабдық терең вакуумды жасайды, 

онсыз  материалдарды  өңдеу  мүмкін  емес.  Басқару  блогы 

электронды сәулені өңдеуді автоматтандыру қызметін атқарады. 

Электрондық-оптикалық  түтікте  (1.98-сур.)  электронды  сәуле 

көзі-электронды  қару 

,  импульстік  генератор 

,  электромагнитті 

реттегіш  құрылғы 

3

,  магниттік  фокустаушы  линза 

  және 

 бар. Импульстік генератор 

  жылу  аймағын  шектеу  үшін  электронды  сәуленің  үзілуі  және 

электромагнитті реттеу құрылғысы оны тұрақтандырады. 

145

 

Электрондық  сәулелерді  өңдеудің  өнімділігі  басқа  өңдеу 

әдістеріне  қарағанда  әлдеқайда  жоғары;  осылайша,  қалыңдығы  0,5 

мм,  ені  0,005  мм  және  ұзындығы  3  мм  саңылауды  қалыңдығы  0,5 

мм болат пластинада өңдеу үшін 29...30 с қажет. Қалыңдығы 1 мм-

ге  дейінгі  болат  табақшалар  электронды  түрде  1200  мм/мин 

жылдамдықпен кесіледі. 

Электрондық  сәуле  дәл  қазіргі  кезде  дәл  аспап  жасау 

құрылысында  диаметрі  0,001  мм  дейін  саңылауларды  өңдейді, 

сонымен қатар күрделі пішіндерді де фрезермен өңделеді. 

Электрондық сәуле тантал, молибден, цирконий, ниобий, титан 

және  вольфрам  тәрізді  материалдардан  жасалған  бөлшектерді, 

сондай-ақ кейбір қорытпаларды дәнекерлеу үшін пайдаланылады. 

жүктеу 14,99 Mb.

Достарыңызбен бөлісу: